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光譜共聚焦傳感器
90°側(cè)出光光譜共焦探頭
LTCR1500N納米級(jí)激光傳感器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
LTCR1500N納米級(jí)激光傳感器采用 90°側(cè)向光路 與 納米級(jí)標(biāo)定技術(shù),突破傳統(tǒng)傳感器空間與精度極限。其以 ±0.5mm超窄量程 與 Φ5μm亞微米光斑 為核心,為半導(dǎo)體封裝、精密醫(yī)療器械、微型電子元件等領(lǐng)域的隱蔽空間檢測(cè)提供納米級(jí)非接觸式測(cè)量方案,重新定義微孔檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品分類
產(chǎn)品名稱:LTCR1500N 光譜共焦位移傳感器
品牌:無錫泓川科技
型號(hào):LTCR1500N(側(cè)向出光納米級(jí)深孔檢測(cè)型)
泓川科技4mm直徑徑向出光的光譜共焦傳感器
泓川科技4mm直徑徑向出光的光譜共焦傳感器
LTCR1500N是無錫泓川科技專為納米級(jí)深孔、小腔體及高精度內(nèi)壁檢測(cè)升級(jí)研發(fā)的側(cè)向出光光譜共焦傳感器,采用 90°側(cè)向光路 與 納米級(jí)標(biāo)定技術(shù),突破傳統(tǒng)傳感器空間與精度極限。其以 ±0.5mm超窄量程 與 Φ5μm亞微米光斑 為核心,為半導(dǎo)體封裝、精密醫(yī)療器械、微型電子元件等領(lǐng)域的隱蔽空間檢測(cè)提供納米級(jí)非接觸式測(cè)量方案,重新定義微孔檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。
納米級(jí)精度與側(cè)向光路
線性誤差 <±0.15μm,靜態(tài)噪聲低至 30nm,聚焦光斑直徑 Φ5μm,精準(zhǔn)捕捉內(nèi)壁納米級(jí)劃痕、鍍層缺陷。
90°垂直出光,適配孔徑低至 φ1.0mm,直擊微型噴嘴、芯片通孔等傳統(tǒng)傳感器盲區(qū)。
超微型工業(yè)設(shè)計(jì)
探頭尺寸僅 φ2.5×18mm(含側(cè)向出光口),重量 5g,全球zui輕量化側(cè)向探頭,輕松嵌入高密度集成設(shè)備。
全鈦合金密封外殼,IP68防護(hù)等級(jí),抗腐蝕、耐高壓沖洗,適配潔凈室與生化檢測(cè)場(chǎng)景。
智能溫控與抗干擾
內(nèi)置 雙通道溫度補(bǔ)償系統(tǒng),工作溫度 -20°C ~ +60°C,極duan溫差下精度波動(dòng) <±0.05μm。
抗環(huán)境光、電磁干擾,通過 IEC 61326工業(yè)EMC認(rèn)證,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線嚴(yán)苛要求。
高速動(dòng)態(tài)響應(yīng)
采樣速率 30kHz,支持微米級(jí)高速旋轉(zhuǎn)工件(如微型軸承、精密齒輪)的實(shí)時(shí)在線檢測(cè)。
AI賦能缺陷識(shí)別
集成 AI微孔分析算法,實(shí)時(shí)識(shí)別內(nèi)壁毛刺、堵塞、鍍層不均,誤報(bào)率 <0.005%。
| 參數(shù) | 指標(biāo) |
|---|---|
| 測(cè)量范圍 | ±0.75mm |
| 參考距離 | 1.5mm |
| 光斑直徑(聚焦型) | Φ5μm |
| 線性誤差 | <±0.15μm |
| 靜態(tài)噪聲 | 30nm |
| 測(cè)量角度 | ±8°(側(cè)向) |
| 最小適配孔徑 | φ5.0mm |
| 采樣速率 | 最高30kHz |
| 防護(hù)等級(jí) | IP68 |
| 工作溫度 | -20°C ~ +60°C (可定制200℃高溫版本) |
| 接口支持 | USB/萬兆以太網(wǎng)/EtherCAT/光纖 |
半導(dǎo)體封裝:芯片TSV通孔深度檢測(cè)、晶圓切割刀內(nèi)冷卻孔形貌分析。
醫(yī)療器械:手術(shù)針內(nèi)壁光潔度檢測(cè)、納米級(jí)藥物輸送微孔直徑測(cè)量。
3C電子:TWS耳機(jī)聲學(xué)腔體掃描、微型連接器鍍層厚度在線監(jiān)測(cè)。
精密加工:燃油噴嘴微孔堵塞檢測(cè)、光學(xué)透鏡微結(jié)構(gòu)內(nèi)壁輪廓重建。
科研領(lǐng)域:MEMS器件微通道檢測(cè)、納米材料孔隙率分析。
納米級(jí)多軸控制器:支持8通道同步測(cè)量(最高10kHz),集成 AI邊緣計(jì)算模塊 與 3D納米云圖軟件,一鍵生成亞微米級(jí)內(nèi)壁三維模型。
全球定制化服務(wù):可選配 真空腔體適配探頭、超長(zhǎng)柔性光纖(20m) 或 防靜電版本(ESD 20kV),適配無塵車間、高精密實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景。
無錫泓川科技以 “納米檢測(cè),智造未來” 為核心理念,LTCR1500N通過 “側(cè)向出光×納米精度×AI智能”三維革新,成為微孔檢測(cè)領(lǐng)域的 技術(shù)標(biāo)gan。其以 軍工級(jí)密封工藝 與 半導(dǎo)體級(jí)穩(wěn)定性,為高duan制造、生命科學(xué)、科研機(jī)構(gòu)提供 “零盲區(qū)”測(cè)量保障,助力客戶實(shí)現(xiàn) 工藝極限突破 與 產(chǎn)品ling缺陷交付。
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關(guān)鍵詞:光譜共焦傳感器、側(cè)向出光、納米級(jí)檢測(cè)、微孔測(cè)量、半導(dǎo)體封裝
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