國(guó)產(chǎn)納米級(jí)白光干涉測(cè)厚儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
LTS系列白光干涉測(cè)厚儀基于白光干涉原理，專(zhuān)為薄膜、涂層厚度測(cè)量設(shè)計(jì)，具備納米級(jí)精度、超快采樣速度及寬范圍適應(yīng)性，適用于半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)薄膜等高duan制造領(lǐng)域。國(guó)產(chǎn)納米級(jí)白光干涉測(cè)厚儀

產(chǎn)品型號(hào)：LTS系列

更新時(shí)間：2025-06-19

產(chǎn)品資料：查看pdf文檔

訪(fǎng)問(wèn)量：646

產(chǎn)品咨詢(xún)

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

白光干涉測(cè)厚儀

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

白光干涉測(cè)厚儀具體可分為兩種模式

泓川科技LT-R 系列白光干涉測(cè)厚儀：納米級(jí)精度丈量新維度

泓川科技白光干涉測(cè)厚儀在晶圓碳化硅層厚度測(cè)量中的應(yīng)用實(shí)踐

泓川科技 LTCR4000 光譜共焦傳感器-光通訊芯片 FA 平行度測(cè)量應(yīng)用案例

白光干涉測(cè)厚儀是一種基于光學(xué)干涉原理的高精度測(cè)量?jī)x器

詳細(xì)介紹在線(xiàn)留言

LTS系列干涉測(cè)厚傳感器全面產(chǎn)品介紹

國(guó)產(chǎn)納米級(jí)白光干涉測(cè)厚儀

一、產(chǎn)品概述

　　LTS系列白光干涉測(cè)厚儀基于白光干涉原理，專(zhuān)為薄膜、涂層厚度測(cè)量設(shè)計(jì)，具備納米級(jí)精度、超快采樣速度及寬范圍適應(yīng)性，適用于半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)薄膜等高duan制造領(lǐng)域。

二、白光干涉測(cè)厚儀的核心優(yōu)勢(shì)(產(chǎn)品亮點(diǎn))

　　超高精度

　　重復(fù)精度達(dá) 1nm，線(xiàn)性誤差 ±20nm，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)厚度測(cè)量。

　　非接觸式測(cè)量，避免接觸損傷樣品表面。

　　超快速度與寬范圍

　　最高 10kHz 采樣頻率，滿(mǎn)足高速動(dòng)態(tài)測(cè)量需求。

　　超大測(cè)厚范圍：常規(guī)型號(hào)厚度測(cè)量范圍 1μm~2500μm(折射率 1.5 時(shí))，適配不同薄膜厚度場(chǎng)景。

　　環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)

　　抗干擾能力強(qiáng)，不受電磁干擾影響。

　　寬范圍工作距離，部分型號(hào)建議安裝距離 5-10mm，兼容復(fù)雜工況。

　　零發(fā)熱探頭設(shè)計(jì)：探頭內(nèi)部無(wú)電子元件，避免發(fā)熱導(dǎo)致的夾具變形和光軸偏移，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量。

　　光源技術(shù)升級(jí)

　　超高亮度彩色激光光源：通過(guò)藍(lán)光激發(fā)熒光體生成多色光，較傳統(tǒng)白色 LED 光源，發(fā)光波段更廣、亮度更穩(wěn)定，提升干涉信號(hào)解析精度。國(guó)產(chǎn)納米級(jí)白光干涉測(cè)厚儀

三、測(cè)量原理

　　利用白光干涉現(xiàn)象：

　　光源發(fā)射：白色點(diǎn)光譜經(jīng)干涉探頭照射到樣品表面，薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)產(chǎn)生相位差，形成彩色干涉條紋。

　　信號(hào)解析：通過(guò)解析干涉條紋的相位差與光程差關(guān)系，計(jì)算薄膜厚度(厚度與相位差直接相關(guān))。

　　非接觸測(cè)量：無(wú)需接觸樣品，通過(guò)光譜信號(hào)處理實(shí)時(shí)獲取厚度值。

四、白光干涉測(cè)厚儀的技術(shù)參數(shù)與型號(hào)配置

型號(hào)	LTS-100	LTS-100W	LTS-50	LTS-50W
適配探頭	LTP-T50（聚焦光點(diǎn)，Φ100μm）	LTP-T10-UV-VIS（彌散光斑，10mm 距離時(shí) Φ4mm）	LTP-T50	LTP-T10-UV-VIS
參考距離	50mm	非聚焦探頭	50mm	非聚焦探頭
測(cè)量范圍	±2mm（厚度：2μm~100μm，折射率 1.5 時(shí)）	建議安裝距離 5-10mm（厚度：1μm~50μm，折射率 1.5 時(shí)）	±2mm	建議安裝距離 5-10mm
精度指標(biāo)	重復(fù)精度 1nm，線(xiàn)性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm，線(xiàn)性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm，線(xiàn)性誤差 ±20nm	重復(fù)精度 1nm，線(xiàn)性誤差 ±20nm
測(cè)量角度	±3°	±10°	±3°	±10°
采樣頻率	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz
探頭規(guī)格	Φ30×58mm，90g，IP40 防護(hù)	Φ6.35×65mm，輕量化設(shè)計(jì)	Φ30×58mm，90g，IP40 防護(hù)	Φ6.35×65mm，輕量化設(shè)計(jì)
接口	Ethernet（100BASE-TX）、USB2.0、RS-485（Modbus 協(xié)議）	同左	同左	同左
電源	24VDC±10%，電流 0.4A	同左	同左	同左
工作環(huán)境	溫度 0~50℃，濕度 20~85% RH（無(wú)冷凝）	同左	同左	同左

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

　　電子行業(yè)：觸摸屏 ITO 膜厚測(cè)量、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測(cè)。

　　新能源：鋰電隔膜厚度在線(xiàn)監(jiān)測(cè)、光伏薄膜均勻性檢測(cè)。

　　材料科學(xué)：PET 多層膜材厚度分層測(cè)量、光學(xué)涂層厚度控制。

　　精密制造：半導(dǎo)體晶圓薄膜沉積厚度監(jiān)控、微納結(jié)構(gòu)表面形貌分析。

六、配套支持

　　軟件與開(kāi)發(fā)：

　　上位機(jī)軟件 TSConfocalStudio，支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示與分析。

　　提供 C++/C# 二次開(kāi)發(fā)包，便于集成至自動(dòng)化產(chǎn)線(xiàn)。

　　硬件適配：

　　支持編碼器觸發(fā)與脈沖 / 電平觸發(fā)輸入，兼容多種工業(yè)控制信號(hào)。

　　模擬信號(hào)輸出(±10V 電壓 / 4~20mA 電流)與數(shù)字信號(hào)輸出(警報(bào)、比較器)，滿(mǎn)足不同設(shè)備接口需求。

七、白光干涉測(cè)厚儀的設(shè)計(jì)亮點(diǎn)

　　緊湊輕量化：最小探頭直徑僅 6.35mm，適合狹小空間安裝。

　　光纖設(shè)計(jì)：光纖接頭預(yù)留距離 100mm，靜態(tài) / 動(dòng)態(tài)彎曲半徑分別為 30mm/60mm，

提升布線(xiàn)靈活性。

　　長(zhǎng)期穩(wěn)定性：無(wú)發(fā)熱探頭結(jié)構(gòu)，避免溫度漂移影響，確保高精度持續(xù)測(cè)量。

總結(jié)

　　LTS系列干涉測(cè)厚傳感器以納米級(jí)精度、超快響應(yīng)和高可靠性，成為薄膜厚度測(cè)量的理想選擇，廣泛應(yīng)用于高duan制造的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn)精密測(cè)量與生產(chǎn)效率提升。

上一個(gè)：LTC2000H200℃耐高溫光譜共焦傳感器

返回列表

下一個(gè)：HC16-15微米級(jí)精度測(cè)量

在線(xiàn)留言

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話(huà)：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

日韩av网站在线播放_亚洲美女一区二区三区_亚洲人成小说网站色在线_一级日本不卡的影视_欧美三电影在线_日韩小视频在线观看专区_国产亚洲欧美aaaa_久久久久久久999_午夜精品视频在线_91chinesevideo永久地址

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話(huà)：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：