高精度測量新標gan：LTC 光譜共焦位移傳感器 —— 支持真空環境定制化解決方案
引言
真空環境光譜共焦傳感器在工業精密測量領域，面對鏡面、透明材料、復雜曲面及嚴苛環境的挑戰，傳統傳感器常顯乏力。LTC 光譜共焦位移傳感器憑借突破性的光學設計與技術創新，不僅實現了亞微米級精度的穩定測量，更可根據客戶需求定制真空環境專用版本，為半導體、航空航天、高duan制造等領域提供極zhi可靠的測量方案。
真空環境光譜共焦傳感器的核心優勢：重新定義精密測量標準
1. 極zhi精度，全場景適配
超高重復精度與線性精度：部分型號重復精度可達 3nm，線性誤差低至 ±0.03μm，遠超傳統激光傳感器，滿足納米級精度要求。
多光斑智能切換：提供小光斑(φ1.7μm)、大光斑及四光點式光斑，適配微小目標物(如芯片引腳)、粗糙表面及復雜輪廓測量，有效抑制表面凹凸干擾。
超大測量角度：支持 ±60° 測量角度，無需嚴格對準被測物，對深孔、凹坑、曲面實現無si角檢測。
2. 抗干擾能力強，復雜環境穩定輸出
共焦光學設計：通過針孔濾除雜光，僅聚焦位置的單色光被接收，抗環境光干擾能力卓yue，在強背光、多光源場景下仍保持數據穩定。
透明 / 鏡面材料友好：同軸共焦光路設計解決傳統激光傳感器在透明介質(如玻璃、晶圓)或鏡面表面的光斑偏移問題，實現高度變化時測量點無偏差。
3. 超快響應，高效生產賦能
最高 10kHz 采樣頻率：實時捕捉高速運動物體(如高速旋轉工件、生產線動態檢測)，確保動態測量無延遲。
多接口兼容：標配 USB、RS485、以太網、模擬量等 6 種 I/O 通道，支持 PC 端軟件、PLC 總線、編碼器同步觸發，無縫集成至自動化產線。
4. 真空環境定制：突破極限環境約束
特殊材料與密封設計：針對真空(10??Pa 級)、高低溫(-20℃~+80℃)、高潔凈等極duan環境，采用全金屬密封探頭、抗揮發涂層及真空兼容光學元件，確保長期穩定運行。
行業專屬解決方案：適用于半導體晶圓制造(真空腔體內厚度檢測)、航空航天部件真空環境測試、OLED 面板真空貼合精度校準等場景，定制版本經嚴格真空環境測試，性能零衰減。
技術原理：光譜共焦，光與距離的精準映射
采用白色點光源經色散共焦探頭，不同波長光聚焦于不同距離，形成 “光學位移標尺”。被測物反射光通過同軸光路返回，經針孔篩選后由光譜儀解析波長分布，通過波長 - 位移轉換曲線實時計算距離變化。該原理避免了傳統三角測量法的角度依賴性，對傾斜、曲面、透明介質實現無偏差測量。
產品矩陣：多元型號滿足差異化需求
應用領域：精密制造的全能助手
半導體與電子：晶圓厚度 / 平整度檢測、芯片封裝高度測量、PCB 焊盤共面性分析。
光學與顯示：手機玻璃曲面 R 角測量、OLED 面板厚度均勻性檢測、鏡頭曲率高精度校準。
航空航天：發動機葉片型面檢測、航空部件真空環境變形監測、涂層厚度非接觸測量。
科研與計量：材料表面粗糙度分析、微納米器件位移標定、生物醫學細胞顯微測量。
定制服務：從標準到專屬的精準適配
真空環境適配：提供探頭密封性強化、真空兼容線纜、抗熱脹冷縮結構設計，支持 10?³Pa~10??Pa 真空度定制。
特殊接口開發：根據客戶需求定制 EtherCAT、Profinet 等工業總線，或集成至特定自動化系統。
光路定制：支持軸向 / 徑向出光模式、多探頭陣列集成，滿足復雜工位的多角度同步測量。
結語
LTC真空環境光譜共焦傳感器以 “高精度、高適應、高可靠” 重塑精密測量體驗，真空環境定制版本更打破環境限制，成為極duan工況下的首xuan方案。無論是常規產線的高效檢測，還是真空腔體內的極限挑戰，LTC 始終以技術創新推動工業測量邁向新維度。
| 系列 | 測量范圍 | 典型精度 | 光斑類型 | 特色應用 |
| C100B/C400 | ±0.05mm~±0.2mm | 3nm~12nm | 微米級小光斑 | 手機曲面 R 角、精密電子元件 |
| C2000/C3000 | ±1mm~±1.5mm | 85nm~100nm | 中光斑 / 四光點式 | 金屬工件輪廓、PCB 高度差 |
| C10000/C50000 | ±5mm~±25mm | 250nm~850nm | 大光斑 | 結構件平面度、液膜厚度檢測 |
| 真空定制版 | 定制化范圍 | 亞微米級精度 | 全光斑類型兼容 | 真空腔體、高潔凈環境測量 |
當前位置：首頁
產品中心
產品分類
產品簡介
相關文章
上一個：
返回列表